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PLUTO-80等離子清洗機/表面處理系統是專(zhuān)為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò )電源在整個(gè)過(guò)程區域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達7個(gè)可調節樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶(hù)良好的靈活性。

PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機是一款為工業(yè)級客戶(hù)和研發(fā)型客戶(hù)使用需求設計的寬泛使用等離子表面處理設備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環(huán)境下穩定運行，獲得高度均一的使用效果。